等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)

時間：2014-10-22作者：青島福潤德微電子設(shè)備有限公司瀏覽：105

青島福潤德微電子設(shè)備有限公司專注于鏈?zhǔn)綘t排,全自動擴散爐,小型真空爐,加熱爐體,石棉圈,小型馬弗爐等

• 詞條

  詞條說明

• led專用爐

  ■ LED**爐特點?? ◆ 關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性 ◆ 具有可編程的升、降溫功能???????? ◆ 具有斷電報警、**溫報警、極限**溫報警等多種安全保護功能。 ◆ 具有高抗干擾能力 ◆ 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置?? ?★?賽瑞達可

• 雙工位臥式真空爐

  雙工位臥式真空爐 ? 青島福潤德微電子設(shè)備有限公司 ? 目??錄 ? 一、??????????設(shè) 備 特 點 二、??????????設(shè) 備 結(jié) 構(gòu)

• 擴散爐

  擴散爐由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。 控制系統(tǒng) 控制部分包括：溫控器、功率部件、**溫保護部件、系統(tǒng)控制。 系統(tǒng)控制部分有四個獨立的計算機控制單元，分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。 擴散爐網(wǎng)絡(luò)控制 輔助控制系統(tǒng)，包括推舟控制裝置、保護電路、電路轉(zhuǎn)接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風(fēng)開關(guān)等。 較**的擴散爐控制系統(tǒng)均已較新或升級到微

• 鏈帶式焊接爐

  鏈帶式焊接爐技術(shù)方案 鏈帶式焊接爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件，金屬陶瓷，可控硅器件，玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結(jié)的連續(xù)工作的隧道式結(jié)構(gòu)熱處理爐。 一、主要技術(shù)指標(biāo) 1、設(shè)計溫度：≤700℃ 2、工作溫度：300℃~600℃ 3、爐內(nèi)控溫：±5℃ 4、儀表控制精度：±1℃ 5、設(shè)備總長度：約10600mm；進出口臺面各為：800mm。 6、加熱區(qū)長度：≤3000mm（6段加熱） 7、冷卻區(qū)長