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詞條說明
? 等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)(PECVD) PECVD(等離子增強化學氣相淀積)設備是一種用于在基片上生成高質(zhì)量SiNx和SiO2薄膜的**設備。淀積溫度范圍寬( 100~600oC可調(diào)),特別適用于半導體器件和集成電路的鈍化,用以提高器件和集成電路可靠性。目前,它已成為微電子和光電子領(lǐng)域科研和生產(chǎn)不可缺少的設備。 產(chǎn)品特點: 1、膜質(zhì)量高。它不同于通常使用的翻蓋式單室機(易漏大氣而
?石英軟領(lǐng)為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時間在高溫下出現(xiàn)粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動堵塞保溫棉不均勻,影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產(chǎn)品可長期使用在高溫下,不粉化,不變形,不硬化,不氧化,防震,防腐蝕。
雙工位臥式真空爐 ? 青島福潤德微電子設備有限公司 ? 目??錄 ? 一、??????????設 備 特 點 二、??????????設 備 結(jié) 構(gòu)
■ LED**爐特點?? ◆ 關(guān)鍵件全部采用進口件,具有高可靠性 ◆ 具有可編程的升、降溫功能???????? ◆ 具有斷電報警、**溫報警、極限**溫報警等多種安全保護功能。 ◆ 具有高抗干擾能力 ◆ 具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置?? ?★?賽瑞達可
公司名: 青島福潤德微電子設備有限公司
聯(lián)系人: 顏
電 話: 0532-68017157
手 機: 13658669338
微 信: 13658669338
地 址: 山東青島城陽區(qū)青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
郵 編: 266000
網(wǎng) 址: qdfrdwdz.cn.b2b168.com
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