led**爐

時間：2014-10-22

作者：青島福潤德微電子設備有限公司

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詞條說明
雙工位臥式真空爐
雙工位臥式真空爐 ? 青島福潤德微電子設備有限公司 ? 目??錄 ? 一、??????????設備特點二、??????????設備結構
等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)(PECVD)
? 等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)(PECVD) PECVD（等離子增強化學氣相淀積）設備是一種用于在基片上生成高質(zhì)量SiNx和SiO2薄膜的**設備。淀積溫度范圍寬( 100～600oC可調(diào))，特別適用于半導體器件和集成電路的鈍化，用以提高器件和集成電路可靠性。目前，它已成為微電子和光電子領域科研和生產(chǎn)不可缺少的設備。產(chǎn)品特點： 1、膜質(zhì)量高。它不同于通常使用的翻蓋式單室機（易漏大氣而
鏈帶式焊接爐
鏈帶式焊接爐技術方案鏈帶式焊接爐主要應用于半導體器件，金屬陶瓷，可控硅器件，玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結的連續(xù)工作的隧道式結構熱處理爐。一、主要技術指標 1、設計溫度：≤700℃ 2、工作溫度：300℃~600℃ 3、爐內(nèi)控溫：±5℃ 4、儀表控制精度：±1℃ 5、設備總長度：約10600mm；進出口臺面各為：800mm。 6、加熱區(qū)長度：≤3000mm（6段加熱） 7、冷卻區(qū)長
石英領
?石英軟領為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成，用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫，解決了以往用保溫棉存在的兩大問題：一是保溫棉長時間在高溫下出現(xiàn)粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度，二是手動堵塞保溫棉不均勻，影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產(chǎn)品可長期使用在高溫下，不粉化，不變形，不硬化，不氧化，防震，防腐蝕。