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鏈帶式焊接爐技術方案 鏈帶式焊接爐主要應用于半導體器件,金屬陶瓷,可控硅器件,玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結的連續(xù)工作的隧道式結構熱處理爐。 一、主要技術指標 1、設計溫度:≤700℃ 2、工作溫度:300℃~600℃ 3、爐內控溫:±5℃ 4、儀表控制精度:±1℃ 5、設備總長度:約10600mm;進出口臺面各為:800mm。 6、加熱區(qū)長度:≤3000mm(6段加熱) 7、冷卻區(qū)長
擴散爐由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成。 控制系統(tǒng) 控制部分包括:溫控器、功率部件、**溫保護部件、系統(tǒng)控制。 系統(tǒng)控制部分有四個獨立的計算機控制單元,分別控制每層爐管的推舟、爐溫及氣路部分,是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。 擴散爐網絡控制 輔助控制系統(tǒng),包括推舟控制裝置、保護電路、電路轉接控制、三相電源指示燈、照明、凈化及抽風開關等。 較**的擴散爐控制系統(tǒng)均已較新或升級到微
?石英軟領為進口石英纖維棉采用德國加工工藝制成,用于擴散爐和PECVD設備中爐體和石英管之間的隔熱保溫,解決了以往用保溫棉存在的兩大問題:一是保溫棉長時間在高溫下出現粉化脫落從而影響工作腔體潔凈度,二是手動堵塞保溫棉不均勻,影響工作區(qū)溫度穩(wěn)定性和均勻性。本產品可長期使用在高溫下,不粉化,不變形,不硬化,不氧化,防震,防腐蝕。
空爐(vacuum furnace)是真空環(huán)境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯接。爐膛真空度可達133×(10-2~10-4)h。爐內加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應加熱。較高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構造 3原理 4功能 5
公司名: 青島福潤德微電子設備有限公司
聯系人: 顏
電 話: 0532-68017157
手 機: 13658669338
微 信: 13658669338
地 址: 山東青島城陽區(qū)青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園
郵 編: 266000
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