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時(shí)間：2022-09-03作者：醴陵市利吉升新材料有限公司瀏覽：580

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 釕靶材廠家淺談常見(jiàn)的靶材

  釕靶材廠家淺談常見(jiàn)的靶材我們都了解靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。靶材種類比較多,有金屬類、合金類、氧化物類等等,用的行業(yè)也有所不同,應(yīng)用很廣泛。那么常見(jiàn)的金屬靶材有哪些?濺射靶材是否希缺資源?下面我們一起了解一下。一、常見(jiàn)

• 工程服務(wù)

  售前服務(wù)：專家級(jí)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)為您解決項(xiàng)目建設(shè)所需的鍍膜材料方案設(shè)計(jì)和咨詢工作，幫您節(jié)約投資和降低能耗；過(guò)程服務(wù)：您交付的任務(wù)，我們的專業(yè)管理團(tuán)隊(duì)按照ISO9001的質(zhì)量管理體系，做好每一個(gè)細(xì)節(jié);售后服務(wù)：售后團(tuán)隊(duì)技術(shù)精湛，經(jīng)驗(yàn)豐富。

• 靶材的制作方法、分類及應(yīng)用

  現(xiàn)階段靶材的制取關(guān)鍵有鑄造法和粉未冶金法。鑄造法：將一定成份配制的合金原材料熔煉，再將合金飽和溶液澆筑于模貝中，產(chǎn)生澆鑄，最終經(jīng)機(jī)械加工制造做成靶材，鑄造法在真空泵中熔煉、鑄造。常見(jiàn)的熔煉方式 有真空泵磁感應(yīng)熔煉、真空泵電孤熔煉和真空電子負(fù)電子熔煉等，其特點(diǎn)是靶材殘?jiān)浚ㄓ绕涫瞧w殘?jiān)浚┑?，相?duì)密度高，可進(jìn)口替代；缺陷是對(duì)溶點(diǎn)和相對(duì)密度相距過(guò)大的二種或兩種以上金屬材料，一般熔煉法難以獲得成份

• 靶材在真空鍍膜中的應(yīng)用

  新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周圍的氬氣離子化，造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加，提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍，而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍，基本的原理是在真空中利用輝光放電（glow discharge）將氬氣（Ar）離子撞擊靶材（target）表面，電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面，這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成

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