靶材在真空鍍膜中的應(yīng)用

時(shí)間：2019-12-17作者：醴陵市利吉升新材料有限公司瀏覽：706

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• 詞條

  詞條說明

• 工程服務(wù)

  售前服務(wù)：專家級設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)為您解決項(xiàng)目建設(shè)所需的鍍膜材料方案設(shè)計(jì)和咨詢工作，幫您節(jié)約投資和降低能耗；過程服務(wù)：您交付的任務(wù)，我們的專業(yè)管理團(tuán)隊(duì)按照ISO9001的質(zhì)量管理體系，做好每一個(gè)細(xì)節(jié);售后服務(wù)：售后團(tuán)隊(duì)技術(shù)精湛，經(jīng)驗(yàn)豐富。

• 靶材在真空鍍膜中的應(yīng)用

  新型的濺鍍設(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動以加速靶材周圍的氬氣離子化，造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加，提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍，而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍，基本的原理是在真空中利用輝光放電（glow discharge）將氬氣（Ar）離子撞擊靶材（target）表面，電漿中的陽離子會加速沖向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面，這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成

• 靶材可以應(yīng)用在哪些領(lǐng)域？

  眾所周知，靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān)，隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進(jìn)，靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。如Ic制造商．近段時(shí)間致力于低電阻率銅布線的開發(fā)，預(yù)計(jì)未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜，這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外，近年來平面顯示器（FPD）大幅度取代原以陰極射線管（CRT）為主的電腦顯示器及電視機(jī)市場．亦將大幅增加ITO靶材的技術(shù)與市場需

• 釕靶材的產(chǎn)品優(yōu)勢

  產(chǎn)品優(yōu)勢：1、耐化學(xué)腐蝕氧化鋯、氧化鋁陶瓷有很強(qiáng)的耐化學(xué)腐蝕的特性!2、耐摔性首家具備這個(gè)技術(shù), 陶瓷棒從高空跌落完好無損,耐摔!3、超耐磨氧化鋯、氧化鋁陶瓷結(jié)構(gòu)產(chǎn)品具有很強(qiáng)的耐磨性!4、耐高溫氧化鋯、氧化鋁陶瓷可耐高溫1600度以上!5、防靜電氧化鋯、氧化鋁陶瓷為防靜電材料, 適用無塵區(qū)域!6、防火性氧化鋯、氧化鋁陶瓷對燃燒的火焰有極強(qiáng)防護(hù)能力!