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首先,蝕刻需要一塊經(jīng)過清潔處理并覆上感光膜涂層的金屬板。為了蝕刻出所需的部件形狀,先通過電腦制圖將部件繪圖制印表現(xiàn)于膠片上,它包含非透光區(qū)(黑色-將被蝕刻的部分)以及透光區(qū)(透明色-免除蝕刻的部分)。膠片對(duì)位放置好后,將材料曝光,光線只照到膠片透光區(qū)下方的涂層,被照光涂層發(fā)生硬化作用,以便于后來顯影液無法溶除該硬化涂層。顯影之后,將蝕刻劑噴至材料表面,或?qū)⒉牧辖谄渲小Ng刻劑會(huì)將硬化保護(hù)層以外的材
介紹半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括**物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。**污染包括光刻膠、**溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌
首先我們來看看激光蝕刻的制成程序1,CAD制作蝕刻圖紙,2,自動(dòng)上料?3,激光蝕刻下料完成,全程非接觸,*輔材,無廢氣廢水排放,在成本優(yōu)勢方面,激光蝕刻有著不可代替的優(yōu)勢,但是對(duì)于大型的工廠來說,要想一下子更換設(shè)備,更換工藝,也是一件很難的事,首先淘汰花重金買來的酸蝕產(chǎn)線,就需要勇氣,在花重金買來激光產(chǎn)線這就需要白花花的銀子了,重點(diǎn)在于在更換產(chǎn)線同時(shí) 客戶的交貨,新工藝對(duì)產(chǎn)品影響的評(píng)估
特點(diǎn) 從**激光產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域來看,材料加工行業(yè)仍是其主要的應(yīng)用市場,占比為35.2%;通信行業(yè)排名*二,其所占比重為30.6%;另外,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)占據(jù)*三位,其所占比重為12.6%。 與傳統(tǒng)加工技術(shù)相比,激光加工技術(shù)具有材料浪費(fèi)少、在規(guī)?;a(chǎn)中成本效應(yīng)明顯、對(duì)加工對(duì)象具有很強(qiáng)的適應(yīng)性等優(yōu)勢特點(diǎn)。在歐洲,對(duì)高檔汽車車殼與底座、飛機(jī)機(jī)翼以及航天器機(jī)身等特種材料的焊接,基本采用的是激光技術(shù)。 1、
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