【真空泵故障排除】真空泵的故障排除方法

時間：2021-08-21作者：上海福豫機械設備有限公司瀏覽：151

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  *的用旋片式真空泵串接擴散泵即可.泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴散泵組成.一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴散泵.當真空室到5Pa以下,并且擴散泵預熱后,切換到擴散泵抽真空室.因為擴散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.假如有錢,就用分子泵代替擴散泵.不用預熱.并且徹底無油.

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