詞條
詞條說明
【XD旋片真空泵】抽氣真空泵適用范圍1、XD旋片真空泵是用以抽除特定密封容器內(nèi)的氣體,使該容器獲得一定真空度的基本設(shè)備。2、旋片真空泵不適用于抽除含氧量過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對真空油起化學(xué)作用的各種氣體,也不可作為壓縮機(jī)和輸送泵使用。3、真空泵一般在5-40℃的室溫及不**90%的相對濕度的環(huán)境內(nèi)使用。
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時,表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣
????真空泵的故障及排除方法:?????1?故障現(xiàn)象:泵的抽氣量不夠?????產(chǎn)生原因;?????(1)真空泵的轉(zhuǎn)速不夠;?????(2)密封不嚴(yán),
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機(jī): 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
聯(lián)系人: 黃先生
手 機(jī): 17502155678
電 話: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com