詞條
詞條說明
探針臺精準(zhǔn)控制關(guān)鍵技術(shù)研究
集成電路自動化裝備-探針臺是晶圓測試領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)。由于晶圓片上晶粒很小,達(dá)到微米級,所以要求探針臺要保持很高的定位精度和運(yùn)動精度才能保證探針與晶粒的準(zhǔn)確對針和測試。因此,本文主要研究的問題是如何保證探針臺高精密控制,從而達(dá)到微米級定位要求。? ? ? ?本文來自于國家02專項-面向12”晶圓片的全自動探針臺關(guān)鍵技術(shù)研究。首先,本文介紹了探針臺兩大部分-LO
小型濺射儀儀問儀答較近小伙伴對于濺射儀使用和技術(shù)參數(shù)問的問題比較多,今天總結(jié)一下濺射儀的一些常見的技術(shù)問題:1、膜厚檢測儀原理:膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,利用頻率測量技術(shù)加上**的數(shù)學(xué)算法,進(jìn)行膜厚的在線鍍膜速率和實(shí)時厚度計算。主要應(yīng)用于MBE、OLED或金屬熱蒸發(fā)、磁控濺射設(shè)備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測。2、濺射儀是否可以鍍鎳:可以鍍鎳 ?但是 鎳是導(dǎo)磁
1、樣品臺旋轉(zhuǎn),多樣品同時鍍膜時,鍍膜厚度比較均勻。2、預(yù)濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質(zhì),擋板可以保護(hù)樣品,提高薄膜質(zhì)量3、帶有水冷系統(tǒng),可以長時間濺射鍍膜,厚度可達(dá)1微米以上。4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬較快能達(dá)到1-2納米每秒,5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。6、可擴(kuò)展膜厚監(jiān)測,監(jiān)測薄膜厚度。濺射儀使用需注1 靶材需要
本產(chǎn)品為6英寸高低溫?zé)崤_,能夠在高溫400度和低溫-120度的環(huán)境中工作。它是一種用于實(shí)驗室、研究及工業(yè)生產(chǎn)過程中進(jìn)行溫度控制的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各類材料的熱處理、熱性能測試、化學(xué)反應(yīng)、生物樣品處理等方面。本產(chǎn)品具有溫度范圍廣、控溫精度高、操作簡便及使用等特點(diǎn),是實(shí)驗室及工業(yè)領(lǐng)域非常理想的高低溫?zé)崤_設(shè)備。產(chǎn)品用途:1.?材料熱處理:廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、塑料、粉末、納米材料等領(lǐng)域的熱處理、
公司名: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
電 話:
手 機(jī): 15136134901
微 信: 15136134901
地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
郵 編:
網(wǎng) 址: zzketan.b2b168.com
公司名: 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
聯(lián)系人: 裴先生
手 機(jī): 15136134901
電 話:
地 址: 河南鄭州中原區(qū)鄭州**產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西三環(huán)路289號6幢11單元3層73號
郵 編:
網(wǎng) 址: zzketan.b2b168.com
濱江LS-35LD 立式壓力蒸汽滅菌器數(shù)碼顯示自動型
¥9800.00