用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。

時間：2022-10-21作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：322

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• 詞條

  詞條說明

• 控制器的基本功能

  1、控制各條指令執(zhí)行的順序2、生成實現(xiàn)指令要求的各種操作控制命令，控制有關(guān)部件完成指令規(guī)定的功能3、處理運行程序過程中的異常情況，如運算結(jié)果溢出、數(shù)據(jù)校驗出錯以及輸入輸出中斷請求等隨機(jī)操作4、向全機(jī)提供統(tǒng)一的時序控制信號，協(xié)調(diào)各部件操作。[1]數(shù)據(jù)緩沖由于I/O設(shè)備的速率較低而CPU和內(nèi)存的速率卻很高，故在控制器中必須設(shè)置緩沖器。在輸出時，用此緩沖器暫存由主機(jī)高速傳來的數(shù)據(jù)，然后才以I/O設(shè)備所具

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  壓電陶瓷電機(jī)如何運作壓電陶瓷中的壓電效應(yīng)將電場轉(zhuǎn)化為機(jī)械應(yīng)變。在特殊的電激勵驅(qū)動和壓電陶瓷電機(jī)的陶瓷幾何結(jié)構(gòu)下，以較近的頻率接近激發(fā)縱向和橫向彎曲振蕩模式?？v向延伸模式和橫向彎曲模式的同時激勵產(chǎn)生了陶瓷邊緣的小橢圓軌跡，從而實現(xiàn)了雙模駐波電機(jī)。通過將陶瓷邊緣耦合到精密工作臺上，將一個合力的驅(qū)動力施加在工作臺上，導(dǎo)致工作臺移動。在頻率遠(yuǎn)高于平臺的機(jī)械共振的頻率上，驅(qū)動力的周期性特性允許在無限行程中連

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  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。