高速精密氣浮平臺及其直線電機(jī)驅(qū)動特性

時間：2022-05-21作者：北京瑞邦精控科技有限公司瀏覽：111

北京瑞邦精控科技有限公司專注于氣浮轉(zhuǎn)臺,氣浮運(yùn)動臺,精密運(yùn)動臺等

• 詞條

  詞條說明

• 氣浮平臺介紹

  高精度和高分辨率的氣浮平臺系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測量水平及大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。氣浮平臺系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩(wěn)定時間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標(biāo)。由于精密及精密氣浮平臺的定位精度和分辨率多

• 氣浮運(yùn)動臺主要有哪些優(yōu)點(diǎn)

  氣浮運(yùn)動臺，隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運(yùn)動臺，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復(fù)定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾

• 高速精密氣浮平臺及其直線電機(jī)驅(qū)動特性

  由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點(diǎn)；同時，直線電機(jī)具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點(diǎn)，在運(yùn)動系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運(yùn)動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了直接驅(qū)動。因此，直線電機(jī)和氣浮導(dǎo)軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點(diǎn)，適合應(yīng)用于精密運(yùn)動平臺的 設(shè)計(jì)之中。但由于直線電機(jī)驅(qū)動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，抗干擾能力較差，易產(chǎn)生調(diào)和振

• 氣浮轉(zhuǎn)臺是一種什么樣的設(shè)備

  其實(shí)在科研或制造業(yè)中可以看到一些搭載氣浮轉(zhuǎn)臺的專業(yè)設(shè)備，這些專業(yè)的設(shè)備在使用的過程中能夠有效的保證精度性能，相比機(jī)械轉(zhuǎn)臺，氣浮轉(zhuǎn)臺發(fā)揮著很大的作用，能保證精度，但是在看到眾多的設(shè)備時，大部分的人可能都不知道這中間到底有什么樣的優(yōu)勢，比如可以來看一下氣浮轉(zhuǎn)臺是什么回事呢？氣浮轉(zhuǎn)臺是設(shè)法把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來，并可以穩(wěn)定的高精度的旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，