等離子處理機(jī)，清洗激活蝕刻

時(shí)間：2022-04-08作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：267

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• 詞條

  詞條說明

• 晶圓光刻膠等離子清洗機(jī)及設(shè)備

  在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，晶圓芯片表面會(huì)存在各種微粒、金屬離子、有機(jī)物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質(zhì)，為了避免污染物對(duì)芯處理性能造成致致命影響和缺陷，在保證不破壞芯處理及其他輔助材料表面特性、電特性的前提下，半導(dǎo)體晶圓在制造過程中，需要經(jīng)過多次的表面清洗步驟，而晶圓光刻膠plasma等離子清洗機(jī)是晶圓級(jí)和3D封裝應(yīng)用的理想的干式清洗設(shè)備。晶圓光刻蝕膠等離子清洗機(jī)的應(yīng)用：等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠

• 等離子清洗機(jī)應(yīng)用于LCD行業(yè)

  等離子清洗機(jī)在LCD行業(yè)的運(yùn)用在玻璃基板（LCD）上安裝裸芯片IC（裸芯片IC）的COG工藝中，當(dāng)芯片在高溫下粘結(jié)硬化時(shí)，基板涂層的成分沉淀在粘結(jié)填料的表面。有時(shí)，銀漿和其他連接劑溢出來污染粘合填料。如果在熱壓結(jié)合工藝前采用等離子清洗機(jī)去除這些污染物，可大大提高熱壓結(jié)合的質(zhì)量。此外，由于提高了裸芯片的基板與IC表面之間的潤(rùn)濕性，LCD-COG模塊的鍵合緊密性也得以提高，并且線路腐蝕問題也得以減少。

• 等離子處理機(jī)，清洗激活蝕刻

  等離子清洗機(jī)能夠準(zhǔn)確且有針對(duì)性的提升材料表面屬性。使材料的表面形態(tài)發(fā)生顯著變化，引入了多種含氧基團(tuán)，使表面由非級(jí)性、難粘性轉(zhuǎn)為有一定級(jí)性、易粘性和親水性，有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī)，等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子去膠機(jī)，等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離

• 等離子清洗機(jī)集成電路去膠

  等離子體清洗機(jī)的表面處理技術(shù)是利用等離子體實(shí)現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達(dá)到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的四態(tài)，與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量，使其離化，即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括：離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對(duì)試樣表面進(jìn)行處理，達(dá)到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學(xué)或物理處理后，可在分子水平上去除污染物，從而提高工件表面活性。在微電子技