詞條
詞條說明
等離子清洗機的表面處理適用于對接合前的處理,如金屬、玻璃等材料,在生產(chǎn)過程中其粘合性不夠,此時可利用等離子體清洗機進行表面活化處理,處理后的接合制品粘合性較強,結(jié)合力較好,也不會出現(xiàn)脫落、裂紋等現(xiàn)象等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓
等離子清洗機用于半導(dǎo)體/LED的解決方案,處理介電質(zhì)刻蝕工藝、光刻膠處理/灰化、氧化物去除、有機污染清潔和表面活化。等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機,等離子表面處理機,電漿清洗機,plasma清洗機,等離子去膠機,等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離
等離子清洗機是一種中性的、無污染的干式工藝的等離子表面處理設(shè)備,省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干,廢水處理等工藝,等離子清洗機既能清洗基體表面,又能對基體材料進行表面改性,改善基材表面能、浸潤性、活化等性能,等離子清洗機利用等離子體中高能粒子和活性粒子,通過轟擊或活化反應(yīng)作用達到去除金屬表面污物、灰塵和靜電、金屬表面改性、提高金屬表面的附著力、提高金屬表面抗腐蝕能力、提高金屬的硬度和磨損的
等離子清洗機用于清洗晶元(Wafer),去除表面光刻膠。具有高度的均勻性,穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機在處理晶圓表面光刻膠時,等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機物,也可以通過等離子活化和粗化作用,對晶圓表面進行處理,能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法,等離子體清洗機干式處理的可控性強,一致性好,并且對基體沒有損害。等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機: 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
郵 編:
網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
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