Layertec的光學(xué)鍍膜方法

時(shí)間：2020-07-23作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：333

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 衍射光學(xué)元件清潔、DOE鏡片清洗操作說(shuō)明

  以色列Holoor生產(chǎn)的所有衍射光學(xué)元件（DOE）元件都在潔凈室環(huán)境下進(jìn)行DOE鏡片清潔和包裝。但是，在客戶現(xiàn)場(chǎng)使用或安裝過(guò)程中，產(chǎn)品可能會(huì)弄臟。請(qǐng)參見(jiàn)以下衍射光學(xué)元件清潔手冊(cè)清潔說(shuō)明，并確保在嘗試DOE鏡片清潔之前遵循這些說(shuō)明。注意：?Holoor的產(chǎn)品是以干凈和隨時(shí)可用的狀態(tài)交付。如果由于某種原因弄臟產(chǎn)品，請(qǐng)使用以下說(shuō)明來(lái)進(jìn)行衍射光學(xué)元件清潔。此外，請(qǐng)注意，將弄臟的產(chǎn)品放入您的系統(tǒng)中

• LaserOptik對(duì)大型光學(xué)器件鍍膜技術(shù)

  LASEROPTIK使用專門的設(shè)備對(duì)大型光學(xué)器件進(jìn)行電介質(zhì)鍍膜，樣品的長(zhǎng)度可達(dá)2米（長(zhǎng)軸為矩形）或直徑為550毫米（圓形），在整個(gè)表面具有卓越的光譜均勻性和高LIDT值。自動(dòng)超聲波和手動(dòng)清洗程序保證了即使在這些大規(guī)模的幾何形狀上也有最佳的清潔度。下表列出了可能的尺寸。鍍膜技術(shù)矩形長(zhǎng)軸矩形短軸圓形IBS2000mm250mm550mmIAD1200mm100mm350mmEBE940mm80mm50

• 用于極紫外光EUV，集成選擇性帶通薄膜濾波片的硅光電二極管

  選擇了六個(gè)在極紫外光譜中具有有用帶通的涂層進(jìn)行研究：鋁、鋁/碳，鋁/碳/鈧，鈦，錫，和銀。這些濾波片通常用于0.1至80納米的區(qū)域，并有10到50納米的帶通。濾光材料涂層是由有經(jīng)驗(yàn)的無(wú)支架濾光片供應(yīng)商在晶圓上涂抹的，以確保光學(xué)質(zhì)量是最先進(jìn)的。涂層和非涂層光電二極管的輻射測(cè)量是通過(guò)美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究所（NIST）的極紫外探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行的。該設(shè)施同時(shí)利用了NIST電子存儲(chǔ)環(huán)同步輻射源、SURF II

• 雙微透鏡陣列方案的子單元孔徑對(duì)成像均勻性的影響

  成像型微透鏡陣列作為常用的光路勻化元件，具備適用波長(zhǎng)廣，成本低，勻化效果好的特點(diǎn)。使用微透鏡陣列進(jìn)行光路勻化的常見(jiàn)方案有兩種，一種是單片微透鏡陣列，即雙面微透鏡陣列或稱雙面復(fù)眼透鏡。另一種是兩片，平凸型的復(fù)眼透鏡的雙微透鏡勻化光路。本文針對(duì)后者的勻化方案中，探討了子單元相對(duì)孔徑對(duì)成像均勻性的影響。兩種微透鏡勻化光路的方案中，第一種單片微透鏡陣列的，由于單片雙面的緊湊結(jié)構(gòu)，多用于集成式光路。但是其可