線激光元件被用于晶圓檢測

時(shí)間：2023-10-27作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：136

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• 詞條

  詞條說明

• Layertec的表面光潔標(biāo)準(zhǔn)的說明

  此文就講述了鍍膜鏡片在ISO 10110標(biāo)準(zhǔn)下的鏡片表面質(zhì)量/表面公差(Surface Form Tolerances)和表面缺陷(劃痕)/表面光潔度(Surface Imperfection Tolerances)的含義，句法分析和實(shí)例。Layertec對比了MIL標(biāo)準(zhǔn)和ISO 10110標(biāo)準(zhǔn)，最終選擇更為合適和更好理解的ISO 10110標(biāo)準(zhǔn)。Da = RMS（旋轉(zhuǎn)變異部分）上圖只顯示了三維光

• 生成貝塞爾光束的方法

  貝塞爾光束的特點(diǎn)錐透鏡，在光學(xué)行業(yè)中也稱為衍射錐棱鏡或錐鏡，軸錐鏡，是指將激光束轉(zhuǎn)換成貝塞爾光束的一類光學(xué)元件。貝塞爾光束是一種特殊的非衍射光束，和單模高斯光束相比，它的聚焦深度大。貝塞爾光束，當(dāng)被外部的透鏡聚焦時(shí)會(huì)形成一個(gè)拉長的聚焦區(qū)域，該區(qū)域具有與透鏡相同的衍射極限光斑尺寸，但也可能是瑞利范圍的許多倍。這樣一來，就可以跳過透鏡的焦深限制，即聚焦越緊密，它的焦深（DOF）就越短。?貝塞

• 激光光束的測量技術(shù)

  深圳維爾克斯專業(yè)代理的激光光束，其輪廓的強(qiáng)度分布是激光分析中的一個(gè)重要參數(shù)，它將決定激光束在其應(yīng)用過程中的性能表現(xiàn)如何，在特定的設(shè)置之下，也將會(huì)決定整個(gè)激光系統(tǒng)的性能。激光在真空中傳播時(shí)，會(huì)沿著其傳播路徑產(chǎn)生不同的寬度和強(qiáng)度分布，這種現(xiàn)象是根據(jù)激光諧振腔，發(fā)散的程度，與光學(xué)元件的相互作用以及電子激光器的特性而不斷變化的。盡管現(xiàn)有的理論已經(jīng)能準(zhǔn)確的預(yù)測到激光傳播的真實(shí)情況，但是對于專業(yè)的研究人員和激

• 線激光元件被用于晶圓檢測

  在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問題，這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此，檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí)，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而