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膜厚監(jiān)控儀


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    電阻蒸發(fā)鍍膜儀的工作原理與應(yīng)用電阻蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是一種常見的物理氣相沉積方法,在微電子、光學鍍膜等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。這種鍍膜方式利用電流通過高熔點金屬產(chǎn)生的焦耳熱,使鍍膜材料加熱至蒸發(fā)溫度,從而在基片表面形成均勻薄膜。鍍膜儀的**部件是蒸發(fā)源,通常由鎢、鉬或鉭等高熔點金屬制成。工作時,將鍍膜材料置于蒸發(fā)源上,在真空環(huán)境下通以大電流,使材料迅速升溫至蒸發(fā)點。蒸發(fā)后的原子或分子在真空中直線運動,較終沉積在

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