等離子清洗機用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

時間：2022-04-01作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：263

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  詞條說明

• 等離子清洗機設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清

• 等離子清洗機，等離子去膠機工藝原理及使用

  等離子清洗機，等離子去膠機工藝原理及使用 1) 等離子清洗機，等離子去膠機反應(yīng)機理： ? ?在干法等離子去膠技術(shù)中，氧是首要腐蝕氣體。它在真空等離子去膠機反響室中受高頻及微波能量效果，電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子 O*、氧分子和電子等混合的等離子體，其間具有強氧化才能的游離態(tài)氧原子 （約占 10-20%）在高頻電壓效果下與光刻膠膜反響： O2→O*+ O*， CxHy + O

• 等離子清洗機，提升汽車燈具粘接牢固度

  等離子清洗機表面處理，提升汽車燈具粘接的工藝，使粘接牢固等離子清洗機主要是利用等離子體中的活性微粒進行“活化作用”，從而達到對材料表面污染物的去除。采用汽車燈具粘接工藝，粘接牢固、防塵、防潮；等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、

• FPC等離子清洗機去污處理，增加表面張力

  等離子清洗機廣泛用于LED,LCD，LCM，手機天線，外殼，配件，筆記本電腦按鍵及外殼，光學(xué)元器件，光學(xué)鏡片，晶片，電子芯片，集成電路，五金，精密零件，塑膠制品，生物材料，醫(yī)療器皿，晶圓，太陽能光伏硅片等的表面處理。 經(jīng)過等離子清洗機處理的物件表面活化效果好，物件的水浸潤效果也是非常好的。從而達到表面處理，清洗和刻蝕的效果。如微晶玻璃，光學(xué)鏡片鍍臘粘接前采用等離子清洗機來處理，能有效提升產(chǎn)品品質(zhì)。