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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵不能啟動:主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動運轉(zhuǎn)。這時應首先檢查真空泵的電路部分,如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后,應考慮以下兩個因素:?1、電機燒壞:主要為電機定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過大,電機軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機功率加大,引起溫度上升,燒毀電機。這時應先檢查電機軸承,再檢查電機線圈。軸承損壞就換軸承;電機線圈
XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應水平安放。由于泵運轉(zhuǎn)時幾乎沒有振動一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。?發(fā)運的泵不帶油。安裝后,通過加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見保養(yǎng)、維修1)到油
????真空泵的故障及排除方法:?????1?故障現(xiàn)象:泵的抽氣量不夠?????產(chǎn)生原因;?????(1)真空泵的轉(zhuǎn)速不夠;?????(2)密封不嚴,
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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網(wǎng) 址: ocsmqh.b2b168.com
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