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詞條說明
如何使用讓旋片式真空泵較好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標(biāo)指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉(zhuǎn)動皮帶輪,檢查運(yùn)轉(zhuǎn)情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉(zhuǎn)動方向。(3)泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后.緩慢旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時,欲保持真空系統(tǒng)有一定的真空度,應(yīng)旋轉(zhuǎn)三通閥,使真空系統(tǒng)封閉,泵的吸氣管與
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
工作原理利用體積減少壓力增加是里其樂真空泵運(yùn)行的原理。這種靜態(tài)設(shè)計(jì)可以在真空,壓力和兩者結(jié)合的應(yīng)用中產(chǎn)生良好的效果。根據(jù)規(guī)格和構(gòu)造,真空度可達(dá)0.1mbar,流量從3到1535m3/hr;壓力可達(dá)1.5bar,流量從3到155m3/hr。當(dāng)同時應(yīng)用于真空和壓力時,可同時達(dá)到0.6bar的真空度和0.7bar的正壓。在圓柱體的泵腔內(nèi),轉(zhuǎn)子是偏心安裝的,緊靠**部幾乎與缸體接觸,轉(zhuǎn)子葉片安裝在眾多的轉(zhuǎn)子
【上海醫(yī)院負(fù)壓真空泵】真空機(jī)組的設(shè)計(jì)條件與設(shè)計(jì)步聚
1)真空機(jī)組的設(shè)計(jì)條件①真空室的已知參數(shù):真空室的體積;放氣的表面積;真空室的漏氣量;工作真空度;真空度;預(yù)抽時間和達(dá)到真空的抽氣時間等。②真空室內(nèi)的氣體源情況:真空室內(nèi)的大氣;真空室內(nèi)表面放氣;真空室的動密封處、靜密封處的漏氣;殼體滲透氣體;被處理材料放出的氣體;工藝過程需要而引入的氣體。③真空室內(nèi)的特殊要求:工藝過程中是否產(chǎn)生塵灰、金屬噴濺、腐蝕性氣體、水蒸氣等;真空室內(nèi)是否要求無油、無振動等
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