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????普旭真空泵使用說明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側(cè)油位以油面浸沒3-5齒為宜,電機(jī)側(cè)以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應(yīng)缺油,各部位潤滑油均采用1號(hào)真空泵油。?????1、真空泵啟動(dòng)程序:????&nb
【真空泵廠家】真空系統(tǒng)的機(jī)泵要求是都有哪些
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣
水環(huán)真空機(jī)組以羅茨泵為主泵,以水環(huán)泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。水環(huán)真空機(jī)組選用的水環(huán)泵成為前級(jí)泵比其它的真空泵為有利,因?yàn)樗坏朔藛闻_(tái)水環(huán)泵使用時(shí)壓力差(機(jī)組的壓力比水環(huán)泵的壓力有很大的提高),在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),而且與此同時(shí)又保留了羅茨泵能*工作,有比較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。它能夠適應(yīng)抽除大量的可凝性蒸汽,尤其是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠,或使用的溶劑能使泵油惡化進(jìn)而影響性
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
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