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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵維護與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應經(jīng)常保持清潔,防止雜物進入泵內。?2.泵的運轉過程中,油箱內的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發(fā)性物質進入泵內而影響極限真空時
旋片真空泵的使用方法1、使用前,應仔細閱讀產品使用說明書,開箱后應檢查裝運質量,收好備品備件和技術文件,拆除排氣品防護件。按要求安裝,接線,試轉向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉而噴油,應先開啟泵口,按規(guī)定轉向把泵內存油用手盤到油箱中,同時查看油位,應在油標中心以上,但不要滿油標,多了要放3、判斷轉向的輔助方法,把護套倒放在家口上,如開系后被吸住,是正向,被攻落,是發(fā)向,聲音正常是正向,聲音異
普旭真空泵沒有吸力原因一:真空泵漏氣,密封件老化起不到密封效果。普諾克真空解決方法:泵拆解后清洗干凈,組裝更換密封套件。原因二:真空泵油乳化或變黑,油沒有潤滑性。普諾克真空解決方法:1.打開加油口、再打開放油閥、泵內的大部分泵油可以排出;然后關閉加油口放油閥。2.泵的吸氣口向大氣開放,空轉5秒,缸體內的剩余泵油*被排出。3.打開加油口,再打開放油閥,然后排出泵油。4.關閉放油閥,把*的新油按規(guī)
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
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