【旋片式真空泵廠家】 真空泵的保養(yǎng)操作

時(shí)間：2021-10-27作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：186

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 【旋片式真空泵廠家】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【真空泵廠家】按性能特點(diǎn)和用途分類

  按性能特點(diǎn)和用途分類（1）低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。（2）中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。（3）高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的高真

• 【上海旋片真空泵】真空泵操作須知

  【上海旋片真空泵】真空泵操作須知1、旋片真空泵在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)中產(chǎn)生高溫（40度-80度）。因此操作或停止運(yùn)行后，在電機(jī)和泵體冷卻到正常溫度以前，不能觸摸表面。2、工作時(shí)發(fā)生緊急情況，立即關(guān)閉總電源后保修解決。3、設(shè)備若異常應(yīng)立即停止運(yùn)行，禁止強(qiáng)灌，持續(xù)工作。4、非維修人員嚴(yán)禁拆卸真空泵零部件。5、維護(hù)保養(yǎng)設(shè)備所使用的布條碎布等集中放置到規(guī)定的堆放地點(diǎn)，防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計(jì)及

• 【真空泵的維修】旋片式真空泵的維修方法

  旋片式真空泵維修方法：1、在進(jìn)行真空泵維修之前，準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。2、判斷故障，確診故障。判斷準(zhǔn)，可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障，先簡(jiǎn)后繁，先易后難。無(wú)須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少**工具和操作不當(dāng)引起新的損傷，減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說(shuō)，拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵，應(yīng)請(qǐng)用戶**清洗，并告知必要的防護(hù)措施，以**維修人員的健