詞條
詞條說(shuō)明
【上海真空泵的維護(hù)】真空泵維護(hù)與保養(yǎng)
真空泵維護(hù)與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。?2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,油箱內(nèi)的存油量不得油標(biāo)中心。?3.不同種類(lèi)和牌號(hào)的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí),應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場(chǎng)地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響真空時(shí),可開(kāi)氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【工業(yè)真空泵廠(chǎng)家】旋片式真空泵的工作原理
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間
【旋片式真空泵廠(chǎng)家】真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當(dāng)它泵溫下的飽和蒸汽壓時(shí),即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當(dāng)密閉泵口運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會(huì)溶于油中的物質(zhì),又會(huì)在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時(shí)如果開(kāi)氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長(zhǎng)泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時(shí)油、氣
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