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詞條說明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵拆裝步驟:1、先把油放啦、松開進(jìn)氣咀法蘭螺釘,拔出進(jìn)氣咀,松開氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥2、拆下油箱、拆除止回閥開口銷,拆下止回閥葉輪。3、拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機(jī)拆否視方便而定。4、松開泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級轉(zhuǎn)子時(shí),應(yīng)先拆下開口銷。旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯(lián)軸節(jié)、電機(jī)裝在支座上3、用紗
旋片真空泵的使用方法1、使用前,應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書,開箱后應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量,收好備品備件和技術(shù)文件,拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝,接線,試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。2.為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油,應(yīng)先開啟泵口,按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中,同時(shí)查看油位,應(yīng)在油標(biāo)中心以上,但不要滿油標(biāo),多了要放3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法,把護(hù)套倒放在家口上,如開系后被吸住,是正向,被攻落,是發(fā)向,聲音正常是正向,聲音異
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時(shí),將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時(shí),必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時(shí)需更換油路管。因?yàn)椋?dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時(shí)處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達(dá)到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時(shí)小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
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