詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
普旭真空泵沒(méi)有吸力原因一:真空泵漏氣,密封件老化起不到密封效果。普諾克真空解決方法:泵拆解后清洗干凈,組裝更換密封套件。原因二:真空泵油乳化或變黑,油沒(méi)有潤(rùn)滑性。普諾克真空解決方法:1.打開(kāi)加油口、再打開(kāi)放油閥、泵內(nèi)的大部分泵油可以排出;然后關(guān)閉加油口放油閥。2.泵的吸氣口向大氣開(kāi)放,空轉(zhuǎn)5秒,缸體內(nèi)的剩余泵油*被排出。3.打開(kāi)加油口,再打開(kāi)放油閥,然后排出泵油。4.關(guān)閉放油閥,把*的新油按規(guī)
普旭真空泵安裝?? ? (1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所。?? ? (2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?? ? (3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周?chē)鷳?yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)。裝拆方便。?? ? (4)接通電源后,電機(jī)轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。 
【佛山貼合機(jī)真空泵】真空泵電機(jī)溫度高的解決方案
電機(jī)溫度高原因分析(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。(4)電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。(5)真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運(yùn)行電流大。對(duì)策電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的,不能改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上,電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,也不可換。增加風(fēng)
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