【大流量真空泵】真空泵的維護與保養(yǎng)

時間：2021-09-03

作者：上海福豫機械設備有限公司

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詞條說明
【上海單級旋片真空泵】真空泵的操作
真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間，潤滑油不可太多，亦或太少，不足時應補充。禁止混用不同牌號的潤滑油，補充潤滑油時，應確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時，方可打開加油塞。接上電源線及接地線，測試電壓是否準確，電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向，如旋轉(zhuǎn)方向不對，則對調(diào)三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
【國產(chǎn)真空泵】XD系列真空泵安裝方法
XD系列真空泵安裝方法：?（1）安裝?泵應水平安放。由于泵運轉(zhuǎn)時幾乎沒有振動一般可不固定，泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵，以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修，建議在泵進氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。?發(fā)運的泵不帶油。安裝后，通過加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油（見保養(yǎng)、維修1）到油
【旋片式真空泵廠家】真空泵的壓強范圍
壓強范圍真空泵種類?工作壓強范圍（Pa）?起動壓強（Pa）活塞式真空泵?1×105～1.3×102?1×105旋片式真空泵?1×105—6.7×10-1?1×105水環(huán)式真空泵?1×105—2.7×103?1×105羅茨真空泵?1.3×103—1.3?1.3×103渦輪分子泵1.3—1.3×10-5
真空泵廠家羅茨泵的工作原理
羅茨泵工作原理分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應