【國(guó)產(chǎn)普旭真空泵】單級(jí)旋片真空泵日常維護(hù)

時(shí)間：2021-08-23作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：67

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 【工業(yè)真空泵】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

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• 【干燥機(jī)真空泵】單級(jí)旋片式真空泵的適用范圍

  單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級(jí)旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍：100Pa~100000Pa，**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會(huì)產(chǎn)生真空，需換葉片。

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  真空泵發(fā)生漏油的原因是什么？1、軸承位變形，可修復(fù)軸承位置。2、軸承磨損嚴(yán)重，可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油，如是磨損所致可換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴(yán)重失效，可換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路，查看漏油的部位，密封螺絲，管路，管路接口，油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油，擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長(zhǎng)時(shí)間沒有進(jìn)行保養(yǎng)，可拆解開真空泵，清洗油箱、泵腔