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詞條說明
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
【旋片真空泵配件】真空泵浮子閥換1、旋片真空泵回油浮球安裝在油箱內(nèi),泵頭處的回油管將連接與之相通的孔,將泵頭內(nèi)多余的油收集到油箱內(nèi)部。2、當(dāng)回油浮球失去效果,則在油位較高時無法堵住油口,后果將會導(dǎo)致整個回油油路無法正常工作。從而間接導(dǎo)致真空泵泵體潤滑不夠,或泵體油分過多。3、為了保持油路的暢通和正常工作,以及獲得穩(wěn)定的真空度、延長真空泵使用壽命的前提下,當(dāng)大保養(yǎng)或維修時若回油浮球失去效果,請立即換
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵保養(yǎng)操作:維護時間表真空泵維護時間間隔根據(jù)每個客戶工作環(huán)境而定。您可以根據(jù)您的實際使用狀況,縮短維護時間間隔,尤其是灰塵大的工作環(huán)境。Ⅰ?每日需要維護事項:檢查油位及油的顏色。Ⅱ?每星期需要維護事項:檢查真空泵是否漏油。Ⅲ?每月需要維護事項:檢查排氣過濾器的功能,必要時請清洗或換進氣過濾器。Ⅳ?每6個月需要維護事項:檢查真空泵泵腔是否有灰塵、污垢、積碳
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