詞條
詞條說(shuō)明
旋片式真空泵使用說(shuō)明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過(guò)長(zhǎng),且不宜小于泵的進(jìn)氣口徑。2、被抽氣體溫度不得40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過(guò)濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過(guò)多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過(guò)程中油溫不能70℃,在正常工作時(shí)應(yīng)聽(tīng)到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時(shí)應(yīng)停止工作,檢
真空泵發(fā)生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復(fù)軸承位置。2、軸承磨損嚴(yán)重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油,如是磨損所致可更換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴(yán)重失效,可更換掉整套密封套件解決失效問(wèn)題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問(wèn)題。6、真空泵長(zhǎng)時(shí)間沒(méi)有進(jìn)行保養(yǎng),可拆解開真空泵,清洗油箱、
旋片式真空泵拆裝步驟:1、先把油放啦、松開進(jìn)氣咀法蘭螺釘,拔出進(jìn)氣咀,松開氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥2、拆下油箱、拆除止回閥開口銷,拆下止回閥葉輪。3、拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機(jī)拆否視方便而定。4、松開泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級(jí)轉(zhuǎn)子時(shí),應(yīng)先拆下開口銷。旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯(lián)軸節(jié)、電機(jī)裝在支座上3、用紗
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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