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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【旋片泵真空泵】的主要性能特點(1)旋片式真空泵能夠在在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。(2)旋片式真空泵的轉(zhuǎn)子幾何對稱性好,所泵在工作過程中運行比較平穩(wěn)。(3)旋片泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計中,轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子和殼體之間留有空隙,磨損?。煌瑫r降低驅(qū)動功率,實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)。(4)旋片泵泵腔內(nèi)*油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染。
產(chǎn)品優(yōu)勢1、**命葉片2、低噪音水平3、易維護4、能忍受較高水蒸氣5、保養(yǎng)周期長產(chǎn)品特點1、低噪音,低震動,工作環(huán)境不會受影響?。2、內(nèi)置高效油霧過濾器,所排出的氣體不含油霧。????????????????? 
葉片安裝方法:1、真空泵葉片的安裝。不論是我司生產(chǎn)的真空泵葉片還是進口真空泵葉片,在沒有技術(shù)人員指導下,自行安裝時一定要正確,避免真空泵葉片斷裂或在運轉(zhuǎn)過程中安裝不好導致軸承卡死,造成泵體磨損的真空度不足等情況發(fā)生。2、葉片的區(qū)分。市面上的真空泵葉片材質(zhì)有鋁合金、合金鋼、玻璃纖維樹脂、銻樹脂石墨葉片。其功能都是一樣的,但不同材質(zhì)導致的性能又不一樣。(1)使用金屬材質(zhì)的葉片噪音相對于樹脂葉片和碳片較
公司名: 上海福豫機械設(shè)備有限公司
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