磁控濺射沉積系統(tǒng)設計

時間：2023-04-13作者：鄭州科探儀器設備有限公司瀏覽：93

鄭州科探儀器設備有限公司專注于真空探針臺,小型離子蒸鍍儀,小型離子濺射儀等

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  詞條說明

• 你并不了解小型濺射儀

  小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子；新電子飛向基片，Ar離子在電場作用下加速飛向陰靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用，產(chǎn)生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就

• 小型濺射儀鍍膜后掃描電鏡紡織纖維中的應用

  纖維（Fiber）是由連續(xù)或不連續(xù)的細絲組成的物質(zhì)，可分為**纖維和化學纖維。這兩大類纖維被廣泛應用于紡織[1]、環(huán)保[3]、生物醫(yī)療[4]等多個領(lǐng)域。由于纖維材料的表面物理形態(tài)和化學結(jié)構(gòu)是決定材料性能的主要因素，通常需要利用相關(guān)的顯微設備去觀察纖維表面的微觀形貌等信息，從而去判斷纖維材料的基本性能。掃描電子顯微鏡作為一種常規(guī)的微觀表征設備，其具有放大倍數(shù)大、分辨、景深大、圖像清晰、立體感強等優(yōu)點

• 探針臺精準控制關(guān)鍵技術(shù)研究

  集成電路自動化裝備-探針臺是晶圓測試領(lǐng)域研究的熱點。由于晶圓片上晶粒很小,達到微米級,所以要求探針臺要保持很高的定位精度和運動精度才能保證探針與晶粒的準確對針和測試。因此,本文主要研究的問題是如何保證探針臺高精密控制,從而達到微米級定位要求。? ? ? ?本文來自于國家02專項-面向12”晶圓片的全自動探針臺關(guān)鍵技術(shù)研究。首先,本文介紹了探針臺兩大部分-LO

• 小型濺射儀問題解答

  小型濺射儀儀問儀答較近小伙伴對于濺射儀使用和技術(shù)參數(shù)問的問題比較多，今天總結(jié)一下濺射儀的一些常見的技術(shù)問題：1、膜厚檢測儀原理：膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術(shù)加上**的數(shù)學算法，進行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應用于MBE、OLED或金屬熱蒸發(fā)、磁控濺射設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳 ?但是 鎳是導磁