等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓的預(yù)處理

時(shí)間：2022-05-25作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：222

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  詞條說明

• 為什么熔噴布要加裝靜電駐設(shè)備

  為什么熔噴布需要加裝靜電駐設(shè)備?因?yàn)槿蹏姴既蹏姛o紡布主要用于過濾粉塵、微生物、霧霾等微米級(jí)顆粒物，堪稱口罩的“心臟”。需要表面靜電來吸附粉塵顆粒物來增加過濾效果。外科口罩和N95口罩的核心就是中間的那個(gè)夾層——熔噴布?？谡值倪^濾效率和直徑和填充密度有關(guān)。如果織得太密，口罩就不透氣，戴的人就很難受。如果不做靜電駐處理，能讓人感覺不會(huì)憋死的熔噴布的過濾效率就只有35%，靜電駐處理設(shè)備，即靜電發(fā)生

• 等離子處理機(jī)提升表面潔凈度，改善粘接強(qiáng)度

  等離子清洗機(jī)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用：等離子刻蝕，等離子沉積，原子層沉積廣泛用于光電器件制造，包括VCSEL，激光二管，微透鏡，波導(dǎo)和單片微波集成電路（MMIC）等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和

• 等離子清洗機(jī)提升手機(jī)屏鍍膜的粘接力

  等離子清洗設(shè)備可以去除手機(jī)屏表面的雜質(zhì)、微粗化其表面，有利于提升手機(jī)屏鍍膜的粘接力,使之粘得牢，等離子清洗設(shè)備產(chǎn)生的等離子包含電子、離子和活性自由基,這些粒子都比較容易與材料表面的有機(jī)污染物發(fā)生反應(yīng),生成易于揮發(fā)的無害氣體,如CO2和水蒸汽等,整個(gè)反應(yīng)過程時(shí)間短、處理效果好。經(jīng)過等離子清洗機(jī)的處理后的手機(jī)屏在進(jìn)行鍍膜或噴涂時(shí),等離子體中的活性成分就會(huì)迅速與材料和噴鍍材料形成化學(xué)鍵合,這種鍵合能夠大

• 等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會(huì)涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進(jìn)行下一步的生長(zhǎng)或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時(shí)通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清